上证报中国证券网讯（记者 李兴彩）9月12日，中晟光电设备（上海）股份有限公司（以下简称“中晟光电”）发运国内客户首台砷化镓/磷化铟（GaAs/InP）外延MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积）设备ProMaxy® PE。
砷化镓/磷化铟材料广泛应用于光通讯、激光、射频、高效太阳能电池、LED照明和显示等领域。长期以来，材料外延生长的MOCVD设备一直被国外厂商垄断，中晟光电首台国内客户的成功发运及后续与客户的战略合作，将有力助推中国化合物半导体产业的健康发展。
中晟光电ProMaxy® PE设备采用自主创新的气体均匀传输和快速切换控制等核心技术，旨在有效解决光通迅/激光器件等对外延材料生长的界面特性控制难题，并保障外延材料厚度和组份的均匀性，为提高器件的整体性能奠定基础。
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责任编辑：张恒星 SF142
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